安泰测试定制交付！西安交大真空互联电学测量系统正式投用

5月21日，西安安泰测试设备有限公司携手蓝海科仪，为西安交通大学分析测试中心定制交付的“真空互联电学测量系统”顺利完成安装调试并正式投入使用。 该系统以“不破真空、原位测试、多物理场耦合”为核心设计理念，有效解决了分析测试中心在先进半导体、新材料及功率器件测试中面临的真空互联电学互联、极端低温表征、多模态信号集成、微弱信号测量及样品无缝传递等一系列技术难题。

一 科研痛点：传统测试模式难以适配科研发展

西安交通大学分析测试中心长期承担先进半导体、新材料及功率器件等高精尖领域的测试服务。随着科研不断深入，传统测试手段在以下几个层面面临严峻挑战：

二 解决方案：原位测试与全真空闭环设计

针对上述难题，西安安泰测试设备有限公司联合蓝海科仪为客户定制开发了全新的真空互联电学测量系统，核心组成与关键技术如下：

·真空高低温闭循环探针台（LH-CRPS-8K）

提供室温～5×10⁻⁴Pa、低温～5×10⁻⁶Pa的超高真空测试腔体，配合GM制冷机实现样品台≤8K低温环境，温度稳定性优于±50mK，确保极端环境下的可重复测量。

·多模态探针臂模组集成

系统配置7路探针臂——4路直流臂（DC～50MHz，漏电流<100 fA@1V）、2路射频臂（DC～67GHz，GSG探针）、1路光纤臂（380nm～2500nm），一次装样即可完成电、频、光三类测试，避免多次转移带来误差。

·真空互联中转腔系统

为客户现有真空互联系统与探针台之间搭建专用对接通道，中转腔本底真空优于5×10⁻⁶Pa（室温），配备6位样品停放台及CF35/TH100样品传递组件，实现样品在全真空路径内的大气隔离传递，彻底解决破真空污染问题。

·概伦高精度半导体参数分析仪（PX500机箱+4×FS380 SMU+HCV模块）

直流电流量程0.1fA～1A，精度30fA；脉冲测试最小脉宽≤50μs；C-V测试偏压±200V；配备LabExpress™软件，支持IV/CV/脉冲/瞬态时域全模式测试，覆盖MOSFET、BJT、二极管等器件类型。

·高温退火炉联用（HTAC63）

与真空互联系统实现双向样品传送，温度可达≥1773K，支持X/Y/Z/R四自由度运动，为热处理后即时原位测试提供条件，形成“制备-处理-测试”一体化真空闭环。

·系统集成与联合调试

安泰测试统筹协调探针台、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱分析仪等多家厂商完成联合调试，提供整体解决方案交付。

三 客户反馈：测试能力与使用效率双提升

系统交付安装调试完成后，西安交通大学分析测试中心对本套设备及安泰测试的配套服务给予高度评价：

01科研能力实质性提升

系统实现了样品在超高真空环境下从低温（8K）至高温（420K）全温区、直流/射频/光学多模态的原位电学测试，大幅拓展分测中心测试服务边界，有效支撑拓扑材料、半导体器件、新型薄膜等前沿研究。

02真空无缝传递解决核心难题

客户反馈，真空互联中转腔彻底解决了“出腔即污染”的顽疾，样品表面洁净度和测试数据一致性显著提升，真空恢复时间大幅缩短，日常测试效率明显改善。

03仪器集成度与易用性获得认可

全套系统通过统一控制软件实现温度自动控制与电学参数采集联动，并开放LabView接口，方便用户自主扩展，满足分测中心多用户、多任务并行使用需求。

04服务响应及时

安泰测试在安装调试期间积极协调多家厂商，完成探针台与上位软件、参数分析仪的联合调试，调试周期内问题响应及时，培训周期不少于7天，操作人员快速上手，客户对全程服务体验给予积极评价。

此次真空互联电学测量系统的成功交付，是安泰测试在高端定制化测试系统集成领域的又一重要实践。公司将继续深耕半导体、新材料、功率器件等前沿测试需求，以更专业、更系统的解决方案助力国内高水平科研与产业创新。