吉时利数字源表2400测量低微电流的方法

吉时利2400数字源表作为精密的电流测量仪器，在微电子、半导体测试及材料研究等领域具有广泛应用。其高精度、低噪声特性使其成为测量pA级低微电流的理想工具。本文将介绍使用2400源表进行低微电流测量的关键步骤及注意事项。

一、测量前的准备与参数设置

1. 选择合适的电流范围

根据预估电流值设置量程，2400源表支持从±10pA至±1A的宽范围测量。对于低微电流（如nA-pA级），需选择对应的最小量程以提高分辨率。

启用“自动量程”模式可避免手动切换量程的误差，但需注意测量稳定性。

2. 配置触发与采样参数

设置触发方式为“外部触发”或“自动触发”，确保在信号稳定时采集数据。

降低采样率至适当值（如100Hz以下），减少噪声干扰，提升测量精度。

3. 开启接触检查功能

2400源表具备高速接触检测功能（350μs内完成验证），可识别测试线接触不良或开路，避免因接线问题导致数据错误。

二、连接与测量步骤

1. 电路连接

采用四线制接线法（Kelvin连接）消除导线电阻影响。将待测器件（DUT）的正负极分别连接至源表的“High Sense”和“Low Sense”端，而非直接连接输出端。

使用屏蔽测试线并接地，减少电磁干扰。

2. 设置保护参数

为防止DUT或仪器过载，需设置“电流箝位值”（Compliance）。例如，测量时设定高于预期电流值的箝位值，若电流超过设定值则仪器自动限制输出，保护设备安全。

3. 启动测量

选择“电流测量”模式，启动源表输出。观察实时数据，确认电流值稳定后记录结果。

如需连续测量，可使用“扫描”功能记录多组数据，分析平均值或波动情况。

三、优化与注意事项

1. 环境控制

避免在强磁场、高温或潮湿环境中操作，建议使用恒温实验室或加装屏蔽箱。

关闭无关电子设备，减少电磁干扰。

2. 降低噪声干扰

使用低噪声测试线，缩短连接线长度。

在软件中启用“数字滤波”功能，平滑数据曲线。

3. 数据处理

通过多次测量取平均值，计算标准差以评估数据重复性。

利用源表的“比较器”功能进行Pass/Fail判断，简化测试流程。

四、典型应用案例

二极管漏电流测试：设置反向偏置电压，通过2400源表监测pA级漏电流，评估器件性能。

传感器信号采集：连接低功耗传感器，测量其微弱电流输出，分析灵敏度与噪声比。

通过合理配置参数、优化电路连接及控制环境，吉时利2400源表可实现精准的低微电流测量，为科研与工业测试提供可靠数据支持。操作人员需严格遵循规范流程，并结合实际需求调整设置，方能充分发挥仪器性能。